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27.02.2014

CVD-Technologie

Neue Niederdruck-CVD-Technologie

CVD-Technologie

CVD-Technologie

In den letzten Jahrzehnten haben kubisch flächenzentrierte (kfz) Ti1-x Alx N-Beschichtungen einen signifikanten Stellenwert im Verschleißschutz erlangt. Bis heute können diese metastabilen Strukturen aber nur mit Beschichtungsmethoden abgeschieden werden, die bei vergleichbar niedrigen Temperaturen ablaufen, den Aluminiumanteil bei kfz-Strukturen auf 67 Prozent begrenzen und so die Oxidationsbeständigkeit einschränken.

IHI Ionbond, Olten/Schweiz, hat einen speziellen CVD-Prozess entwickelt, der in kubisch flächenzentrierten Ti1-x Alx N-Schichten einen Al-Anteil von 91 Prozent ermöglicht und harte, verschleißbeständige Schichten erzeugt. Das Bild zeigt eine Beschichtung, die bei Raumtemperatur die hohe Härte von circa 29 GPa sowie moderate Druckeigenspannungen von bis zu -3 GPa aufweist.

GrindTec Augsburg Halle 5-5011

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